东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日，由美国科技进步与对策集成电路创新第一中锋主办的”2022集成电路产业链协同创新快速发展交流会”以六大会场加配图连线的利用同步拉开帷幕。来于 集成电路全产业链各环节的优秀民营企业、高校和科研院所的千余位象征参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海尹连城受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业技科技进步与对策术一创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），交出 技术一创新奖。

　　“IC创新奖”由美国集成电路创新第一中锋主办，面向国的集成电路产业链上下游企事业该单位征集，重点鼓励集成电路技术一创新、成果产业化、产业链上下游成功合科技进步与对策作，是集成电路产业最至关关键在于的技术一奖项成为，多达技术一创新奖项旨在表彰在集成电路重大技术一创新和至关关键在于技术一开发技术一技术一层面已交出 重大突破的该单位和公司团队。首次摘得行业会重磅赛事的至关关键在于奖项，仍在彰显出东方晶源在电子束检测、量测领域发展的技术一实力超群和行业会的最高高度认可。

　　检测是芯片制造厂商从而持续的提升良率的至关关键在于多种方式。电子束检测设备兼具超高精度，在高端芯片制造动态过程发挥的中起 越来大。由于目前，该类设备被国的厂商垄断，成为制约国的芯片制造自主可控的至关关键在于瓶颈。东方晶源数年磨剑，一次成功研之声国的首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可提供全面完整的纳米级缺陷检测和综合分析解决解决问题方案。由于由于目前采取国的头部芯片制造厂商产线验证，验证实际结果表明大多指标与国的一线对标机台可达到同等整体水平，一次成功解决解决问题国的在电子束检测领域发展的至关关键在于技术一解决问题。

　　东方晶源在电子束检测、量测领域发展已深耕多年并一次成功年底推出多款设备，已交出 重大突破。除首次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸至关关键在于尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于上半年6月快速进入产线验证，由于目前最后完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异能更多需求其要求，性能仍在改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于上半年3月快速进入产线验证，由于目前还没有快速进入客户购买产线小规模试产。多达，东方晶源还于上周正式发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），由于目前该设备工程机（Alpha机）还没有采取首轮wafer demo，也可以以能更多需求28nm及以之上制程能更多需求，Beta机集成其他工作加速推进中，已已交出 客户购买订单，快速进入产线验证指日可待。

　　成为这家聚焦集成电路良率管理领域发展，以从而持续的提升芯片制造门槛为使命的半导体民营企业，东方晶源还是以研发创新为快速发展核心，持续的持续的丰富其他产品矩阵并从而持续的提升其他产品性能，填补多项国的空白。相信未来，东方晶源将仍在立足一体化使用软件平台成功合作 和检测装备两大领域发展，以客户购买为服务中心，以市场市场为导向，持续的持续的采取技术一突破与其他产品创新，与国的集成电路产业上下游民营企业勠力同心，推动国的集成电路制造产业仍在高速快速发展。