IT前沿7月30日消息报道中微半导体设备（上海三 ）股份有限一家公司（简称 “中微一家公司”）昨日宣布年底推出 Pris通信原理Mo HiT3 MOCVD 设备，再就 用于深紫外 LED 量产。
中微 Prismo 系列 MOCVD 设备目前为止已重新进入到影响全球再就 数领先的蓝绿光 LED 制造商，IT前沿获悉，首次年底推出的 Prismo HiT3是中微 Prismo 系列 MOCVD 设备的最产品产品产品。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组通信原理分材料生长的最最重要的的的设备，特殊反应腔远高于温度可达 1400 度，具有一优异的工艺重复性通信原理、均匀性和低缺陷率。该设备不仅包括 也为高产量而设计造型 ，单炉可生长 18 片 2 英寸外延晶片，并可延伸到生长 4 英寸晶片。
中微一家公司 Prismo HiT3 MOCVD 设备早期的客户会不仅包括 到影响全球领先的深紫外 LED 制造商马鞍山杰生半导体有限一家公司，该一家公司的深紫外 LED 呆呆在呆在家里用、医疗和科研设备等行业领域有广泛应用。
深紫外光几十年前就被应用于工业和通信原理民用消毒杀菌行业领域。它多种渠道破坏细菌和病毒的 DNA 由于丧失繁殖能力全面来发挥中起 。深紫外 LED 被用于不一样波长的杀菌灯中，且与延续传统 的汞灯相比较对生活环境无污染。此类 SARS、MERS 和新冠病毒的再次出现由于深紫外 LED 产品产品的满足激增，深紫外 LED 产品产品或者 消灭那些新生微生物。波长 260-280nm 的 UVC 波段的深紫外光都是目前为止该行业领域最先进的核心技术最终解决方案（此类杰生半导体的深紫外 LED 产品产品）。
中微一家公司设计造型 的 Prismo HiT3 MOCVD 设备具有一新颖腔体设计造型 ，能在高温生活环境下生长高质量氮化铝工艺，具有一有一业内领先的深紫外 LED 高产出率；不仅包括 具有一较长的平均免开腔维护间隔时间啊，有待延长不正常运行时间啊并大幅全面提升产能。真空自动化传输系统功能包括或者 抑制颗粒物的引发，并大大减少缺陷。自动化升降机构可方便维护所有操作并切实有效节省维护时间啊。
中微一家公司接受采访，“中微自主研发的 Prismo HiT3 MOCVD 设备延续了我们要现有 Prismo 其它平台已验证的再就 创新功能包括，并大幅全面提升了可在高温工艺生活环境下生长氮化铝基材料的性能，使之拓展到深紫外 LED 的应用。”