东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

就在今天科技进步与对策科技进步与对策，日渐说北京复工复产科技进步与对策的快速推进，东方晶源积极其他组织 设备交付目前工作 ，旗下电子束缺科技进步与对策陷检测（EBI）和最最重要的的的尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付说北京最终客户。据了解出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机大国国内知名晶圆代工厂后，随后可以已拿到头部最终客户的青睐和可以已拿到。同样，标志着东方晶源硬件产品会可进入 批量交付全新模式。

据了解出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除具有独特该产品会会惯大多数数高灵敏度电性和物理缺陷检测、切实有效核心无法解决 28nm及超过良率核心无法解决 、自主创有新高性能缺陷检测引擎（DNA其他数据库）、此基础深度努力学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品会特点外，东方晶源研发团队人员都在上一代产品会的此基础上优化全面升级，使SEpA-i515具有独特更高的TPT和更优的平台发展设计配搭，设备运行效率、性能指标均有总体水平。但是但是，上一代产品会SEpA-i505 尽管大国国内国内头部晶圆代工厂量产两年，产品会性能及稳定性可以已拿到充分验证。

另一台交付的产品会为最最重要的的的尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，展开先进的电子束成像系统中和高速硅片传输方案，配搭精准的量测算法，可努力实现高重复精度、高分辨率及高产能的最最重要的的的尺寸量测。该设备自到去年6月底可进入 大国国内头部晶圆代工厂多来产线验证进展顺利，阶段性验收成果可以已拿到最终客户可以已拿到。

东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的大国科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化前期项目 ，只是经过数年攻坚克难，突破多项核心最最重要的的的各种技术，从零部件到整机设计配搭制造，均具有独特但是自主知识产权，填补大国国内空白。目前仍然，两款设备可进入 批量交付全新模式，产业化进程拿到丰硕成果。

据了解设备交付的最终客户所在仰面朝天海为我 国集成电路产业具有独特举足轻重的地位，目前仍然尽管最为大国国内集成电路产业综合总体水平高、产业链完整、产业生态生存环境是好 集聚地最为。东方晶源越发看重在说北京的快速发展和布局，继计算光刻工具软件（OPC）可进入 说北京头部晶圆代工型企业后，硬件产品会将于登陆说北京。为公司提供 更稳定的提供服务超过海为核心的长三角最终客户，东方晶源将于到去年8月份在说北京设立公司完善自身完善自身，形成系统中 说北京总部、说北京公司完善自身完善自身和说北京公司完善自身完善自身为核心的三地布局，强化型企业贴近产业前沿高地，为集成电路制造型企业带去优质的产品会和提供服务，公司提供 更稳定的与上下游型企业携手强化产业快速发展的同样，构筑型型企业竞争壁垒。

东方晶源自将于成立多来，专注于芯片制造最最重要的的的环节的良率直接控制 和总体水平细分领域，形成系统中 以计算光刻工具软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品会矩阵，并向公司提供 更稳定研究相关细分领域积极布局。硬件其它方面，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发目前工作 ，强化夯确实大国国内电子束检测细分领域领先的整体市场地位和核心各种技术突出优势 。工具软件其它方面，光刻工艺严格仿真工具软件PanSim尽管在最终客户侧展开验证，或将 7月底release V1.0版本。如果未来 ，东方晶源将立足通用工具软件平台发展和检测装备两大细分领域，寻求横纵向快速发展机遇，为最终客户公司提供 越发多样化的产品会，向着大国国内集成电路细分领域良率管理领导者的实现目标 奋进。